Revestimento de evaporação térmica por pulverização catódica de magnetron de laboratório
Revestimento para Ciências Geológicas e Filme Fino
Introdução
Magnetron Ion Sputtering Unit & Thermal Evaporation Carbon Coater é ideal e projetado para preparação de amostras de laboratório SEM. O Modelo SD900C (Unidade de Sputtering de Íons Magnetron) é amplamente usado para revestir amostras de SEM não condutoras ou sensíveis ao calor com Au para obter uma melhor imagem. Também é excelente para tratamento de superfície e evita danos à amostra de substrato.
O revestidor de carbono Modelo SD900C (Unidade de Carbono de Evaporação Térmica) aplica um filme fino de carbono condutor em uma superfície de amostra. A aplicação desse revestimento a uma amostra não condutora é uma técnica de preparação eficaz para diminuir artefatos de elétrons carregados para análise em um SEM.
A pressão de vácuo de trabalho pode ser alcançada rapidamente ao usar a bomba de vácuo adequada em 5 minutos. É amigável e fácil de operar.
A bomba de vácuo está incluída.
O resfriador é opcional. (para unidade de pulverização catódica de íons magnetron)
Parâmetro
Conjunto de bomba de vácuo |
( Óleo necessário ) bomba de vácuo rotativa _ |
Velocidade de bombeamento rotativa _ |
50 Hz: 8 m³ / h ( 2,2 L/ s ) / 60 Hz: 9,6 m³ / h ( 2,6 L/ s ) |
vácuo l limite |
2 Pa |
Corrente máxima de pulverização |
100mA |
Corrente máxima de evaporação
|
100A |
Pressão de trabalho |
20Pa - 8Pa _ |
Tempo de aspiração |
<5 Min ( 2 Pa) |
medida de vácuo |
Faixa de medição da atmosfera até 2*10 -2 mbar |
controle de gás |
Controlador de fluxo de gás |
tamanho da câmara |
Φ 15 0* 12 0mm (altura) vidro de quartzo resistente a arranhões |
fonte do alvo magnetron _ |
Tamanho alvo φ 50* 0,1 mm( A u)/ fonte alvo : Au,Ag,Pt |
Fonte alvo de evaporação |
Material alvo: corda de carbono / fonte alvo: corda de carbono |
método de operação |
Manual de Instruções |
(2 unidades) Peso / tamanho |
55 kg/ 36 0 mm de comprimento x 30 0 mm de largura x 38 0 mm de altura |
Fonte de alimentação |
CA 110 V 60 Hz ou CA 220 V 50 Hz |
Consumo de energia |
< 20 00W |
Método de resfriamento |
Resfriamento a ar (evaporação)+resfriamento a água (sputtering) |
garantia |
Garantia limitada de um ano com suporte vitalício ao produto |