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Vacuum Magnetron Ion Sputtering Coater Coater para
Semicondutores e bateria
Introdução
Magnetron Ion Sputtering Coater (Modelo SD900M) é ideal e projetado para preparação de amostras de laboratório SEM. É amplamente utilizado para revestir amostras SEM não condutoras ou sensíveis ao calor com Au para obter uma melhor imagem. Também é excelente para tratamento de superfície e evita danos à amostra de substrato.
Imagem da Amostra do Resultado do Revestimento sob SEM (por modelo SD-900M) EPTFE (Extended Poly Tetra Fluoro Ethylene)
Baixo vácuo, pode ser alcançado rapidamente ao usar a bomba de vácuo adequada em 5 minutos. Gera muito menos calor e evita danos de plasma à amostra de substrato. É amigável e fácil de operar.
A bomba de vácuo está incluída. O resfriador é opcional.
Parâmetro
| Conjunto de bomba de vácuo |
( Óleo necessário ) bomba de vácuo rotativa _ |
| Velocidade de bombeamento rotativa _ |
50 Hz: 8 m³ / h ( 2,2 L/ s ) / 60 Hz: 9,6 m³ / h ( 2,6 L/ s ) |
| vácuo l limite |
2 Pa |
| Corrente máxima de pulverização |
100mA |
| Pressão de trabalho |
20Pa - 8Pa _ |
| Tempo de aspiração _ |
<5 Min ( 2 Pa) |
| medida de vácuo |
Faixa de medição da atmosfera até 2*10 -2 mbar |
| tamanho da câmara |
Φ 15 0* 12 0mm (altura) vidro de quartzo resistente a arranhões |
| fonte do alvo magnetron _ |
Tamanho alvo φ50*0,1mm(Au) / fonte alvo alvo : Au,Ag,Pt |
| método de operação |
Manual de Instruções |
| Peso / tamanho |
45 kg/ 36 0 mm de comprimento x 30 0 mm de largura x 38 0 mm de altura |
| Fonte de alimentação |
CA 110 V 60 Hz ou CA 220 V 50 Hz |
| Consumo de energia |
< 15 00W |
| Método de resfriamento |
Resfriamento a água (opcional) |
| garantia |
Garantia limitada de um ano com suporte vitalício ao produto |
IPv6 rede suportada 