Laboratório PECVD Forno de Quartzo a Vácuo com Elemento de Aquecimento de Fio de Resistência

      A introdução do equipamento:  Este equipamento ioniza um gás contendo um átomo constituinte do filme por meio de radiofrequência, etc., e forma um plasma localmente. O plasma é quimicamente ativo e reage facilmente, e um filme desejado é depositado no substrato. A fim de permitir que a reação química prossiga a uma temperatura mais baixa, a atividade do plasma é utilizada para promover a reação e, portanto, o CVD é chamado de deposição química de vapor aprimorada por plasma (PECVD).

Descrição do produto:  Este equipamento é um sistema PECVD de zona de temperatura única fixa, que inclui  forno de tubo de zona de temperatura única D 6 0x1 0 00L mm , fonte de alimentação de RF de plasma de 500 W,  sistema de suprimento de ar de fluxo de massa de 3 canais e unidade de vácuo.

Os principais componentes do sistema e características:

O equipamento é composto principalmente por um corpo de fornalha de aquecimento tubular, um sistema de vácuo, um sistema de fornecimento de gás de fluxo de prótons, uma fonte de plasma de radiofrequência, uma câmara de reação de quartzo e similares.

Recurso principal :

1. O gás na câmara de vácuo de quartzo é alterado para um estado iônico por uma fonte de energia de radiofrequência.

2. A temperatura necessária para o PECVD realizar a deposição de vapor químico é menor do que a do CVD comum.

3. A tensão do filme depositado pode ser controlada pela frequência da fonte de alimentação de RF.

4. O PECVD tem maior taxa de deposição de vapor químico, uniformidade, consistência e estabilidade do que o CVD comum.

5. Amplamente utilizado: o equipamento pode depositar SiOx, SiNx, silício amorfo, silício microcristalino, nano-silício, SiC, tipo diamante e outros filmes na superfície da folha ou amostras de formato semelhante, e pode depositar tipo p, n- tipo de dopagem Diversos filmes. O filme depositado tem boa uniformidade, compacidade, adesão e isolamento. Amplamente utilizado em ferramentas de corte, moldes de alta precisão, revestimentos duros, decoração de alta qualidade e outros campos.

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