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Lab DC ou RF Revestimento por pulverização catódica de íons de magnetron de alto vácuo
envernizador
Introdução
O Revestimento de Ion Magnetron de Alto Vácuo é ideal e projetado para ciência de materiais e preparação de amostras. É amplamente utilizado pela maioria das universidades e institutos de pesquisa científica de ciência e engenharia de materiais para revestir metais, cerâmicas, semicondutores, isoladores ou outros tipos de preparação de material de membrana.
O revestidor de íon magnetron de alto vácuo fornece o ambiente de pulverização catódica mais estável e atinge as condições experimentais básicas de pulverização catódica em um período de tempo muito curto. Ele fornece DC / RF dois tipos de opções de potência de pulverização catódica que permitem a pulverização catódica de substâncias condutoras ou não condutoras na amostra e melhora o desempenho da deposição física de vapor (PVD). Também é excelente para tratamento de superfície e revestimento. É fácil de operar e amigável também.
Bomba de vácuo e chiller estão incluídos.
Parâmetro
| Conjunto de bomba de vácuo |
( óleo necessário) bomba de vácuo rotativa +( sem óleo) conjunto de bomba t urbo m oleculan |
| Velocidade de bombeamento rotativa _ |
50 Hz: 16 m³ / h (4,4 L/s)/ 60 Hz: 19,2 m³ /h (5,2 L/s) |
| Velocidade de bombeamento molecular _ |
300 L/ s |
| vácuo l limite |
5x10 -5 Pa |
| Pressão de trabalho |
0,5-5 Pa |
| Tempo de aspiração |
>10 Min (10 -3 Pa) |
| medida de vácuo |
Faixa de medição da atmosfera até 1*10 Pa |
| controle de gás |
Controlador de fluxo de gás |
| tamanho da câmara |
φ260*200mm (altura) m etal |
| fonte do alvo magnetron _ |
Tamanho alvo φ 50*3mm(Cu ) / fonte alvo : substancia magnética fraca / materiais |
| método de operação |
Manual de Instruções |
| Peso / tamanho |
100kg/610mm comprimento x 420mm largura x 490mm altura |
| Fonte de alimentação |
CA 110 V 60 Hz ou CA 220 V 50 Hz |
| Consumo de energia |
<3000W |
| Método de resfriamento |
Arrefecimento a ar ( bomba )+ arrefecimento a água ( alvo de puttering ) |
| garantia |
Garantia limitada de um ano com suporte vitalício ao produto |
IPv6 rede suportada 